
薄膜應力及基底翹曲測試設備
FSM128系列設備,裝備有光學掃描系統。
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晶圓厚度測量系統
FSM413回波探頭傳感器使用具有紅外(IR)干涉測量技術
Line Card
全自動紫外線芯片應力測量儀
全自動紫外線芯片應力測量儀一臺全自動紫外線——可見光RAMan儀器,主要用與測量芯片應力。
紅外干涉測量設備
紅外干涉測量技術, 非接觸式測量